请问5 mask究竟是哪5个

meimei · 发表于 2008-3-3 17:05:31

看过很多工艺流程的教程，但不太清楚究竟哪个才是mask，数来数去也不知道哪5个。请工艺的XDJM们不吝赐教，多谢多谢。

江南如水 · 发表于 2008-3-10 22:08:46

5Mask 就是要过5次光罩,每次光罩都要经过相同的流程,就是用的Mask不同而已,不同的工艺需要用的patten不一样,自然用的Mask 也就不同了......

pkufish · 发表于 2008-5-27 11:31:06

Gate,a-Si,SD,Contact hole,pixel

linlin123 · 发表于 2008-6-21 20:27:03

Gate Mask，Active Mask，S/D Mask，Via Mask，ITO Mask

iau · 发表于 2009-10-25 21:23:50

5mask分别是Gate Mask，Active Mask，S/D Mask，Via Mask，ITO Mask

4mask分别是Gate Mask，SDT Mask，Via Mask，ITO Mask

abcxyz6688 · 发表于 2010-2-22 02:59:15

谢谢解惑

lvrun1984 · 发表于 2010-12-10 16:58:45

需要好好学习

陈东松 · 发表于 2011-7-28 08:21:34

很好的解析楼主

laghk · 发表于 2011-8-2 11:03:27

Gate Mask，Active Mask，S/D Mask，Via Mask，ITO Mask

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