光栅结构中场分布的严格分析

讯技光电科技

该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的，研究了两种不同的系统：具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 1. 建模任务1：金属光栅  在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。  对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 2. 建模任务2：介质光栅  在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。  对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 3. 建模任务  VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器，用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。  通过该分析器，可以对任意形状的光栅进行研究。  场分布计算能够检测结构内部的热点 4. TE和TM照明线性光栅 5. 铬狭缝的分析  通过计算场分量，可描述多种场量，如振幅、位相、振幅平方。  左图显示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，这是唯一一个不为零的场量。  对于金属结构，由于集肤效应，场合能量主要位于狭缝（空气）内。  红线说明了结构的形状（手动添加） 6. 三角光栅的分析  左图为三角介质光栅，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。  如果是介质光栅结构，场合能量主要集中在光栅脊内。  由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化，电场的y分量几乎没有影响。  红线说明了结构的形状（手动添加）。  左图显示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。  与TE偏振光照明对比，由于三角光栅形状，场和能量分布受到强烈的影响。  红线说明了结构的形状（手动添加）。 7. 总结  VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。  内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。  对于该类型的计算，VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。  光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度)，如果采用高能光源，这些热点可能损坏元件。