白光迈克尔逊干涉仪

讯技光电科技

1. 摘要

白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。



2. 建模任务



3. 干涉条纹的变化



4. 走进VirtualLab Fusion



5. VirtualLab Fusion 中的工作流程

• 输入场设置
  

• 基本光源模型[视频教程]
  

• 定义元件的位置和方向
  

• 光路图II：位置和方向[视频教程]
  

• 正确设置非序列追迹通道
  

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]
  

• 使用“参数运行”检查影响/变化
  

• “参数运行文件”的使用[使用案例]
  

6. VirtualLab Fusion 技术


7. 文件信息