关注TFT Array段静电导致的损坏

copper_hou

TFT Array段在LCD面板制造中的阶段
  TFT（Thin Film Transistor，薄膜晶体管）Array（阵列）段是TFT-LCD面板生产制造的前端，用于制备LCD面板显示区域的TFT像素及外围控制线路。
  LCD Cell（液晶盒）段是在LCD面板TFT Array制备完成后，将CF（Color Filter）玻璃与TFT封合在一起，并注入液晶分子，从而形成一个LCD面板的完整结构。
  LCD Module（模组）段是在LCD盒制备完成后，贴上polarizer（偏光片）、绑定上驱动IC或PCBA以及FPC，背光，最终形成一个LCD显示屏的完整电气结构。
  一般情形下，静电在TFT Array与Cell段造成的TFT线路（及外围控制线路）损坏，要比Module段严重得多。

TFT Array段的生产流程
  TFT-LCD面板的TFT array制备与半导体的wafer生产工序极为类似，由各种镀膜（或称为沉积，Deposition）、光刻（Photo）、刻蚀（Etching）以及剥离光阻（Stripper）。主要差别在于LCD的基板为glass（玻璃），制程精度较低（目前处于1um左右的水平）。
TFT Array段静电问题的突出性
LCD采用了不同于传统半导体的基板，而是玻璃，生产工序操作中极易产生起较高的静电。同时由于玻璃基板相对于半导体Si基本更薄，0.2mm-0.5mm，使得静电对TFT线路的静电作用异常显著。