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[技术讨论] 关注TFT Array段静电导致的损坏

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发表于 2017-11-3 09:21:34 | 显示全部楼层 |阅读模式
TFT Array段在LCD面板制造中的阶段
  TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)Array(阵列)段是TFT-LCD面板生产制造的前端,用于制备LCD面板显示区域的TFT像素及外围控制线路。
  LCD Cell(液晶盒)段是在LCD面板TFT Array制备完成后,将CF(Color Filter)玻璃与TFT封合在一起,并注入液晶分子,从而形成一个LCD面板的完整结构。
  LCD Module(模组)段是在LCD盒制备完成后,贴上polarizer(偏光片)、绑定上驱动IC或PCBA以及FPC,背光,最终形成一个LCD显示屏的完整电气结构。
  一般情形下,静电在TFT Array与Cell段造成的TFT线路(及外围控制线路)损坏,要比Module段严重得多。

TFT Array段的生产流程
  TFT-LCD面板的TFT array制备与半导体的wafer生产工序极为类似,由各种镀膜(或称为沉积,Deposition)、光刻(Photo)、刻蚀(Etching)以及剥离光阻(Stripper)。主要差别在于LCD的基板为glass(玻璃),制程精度较低(目前处于1um左右的水平)。
TFT Array段静电问题的突出性
LCD采用了不同于传统半导体的基板,而是玻璃,生产工序操作中极易产生起较高的静电。同时由于玻璃基板相对于半导体Si基本更薄,0.2mm-0.5mm,使得静电对TFT线路的静电作用异常显著。


TFT线路的静电损坏

TFT线路的静电损坏

典型的TFT线路的静电损坏模式

典型的TFT线路的静电损坏模式
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